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0910半导体制造设备，多工位工具，离子加速器，电子束加速器，靶室，所有上述产品用的零件和结构部件、涂料机、雕刻机、沉积机；
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0742机械表面处理机；
0744制造逻辑芯片用机器，制造存储芯片用机器，将离子注入半导体晶片的机器，真空泵，离子植入器，所有上述产品用的零件和结构部件、等离子机、半导体制造机；
0745光学表面处理机；
0749制造逻辑芯片用机器，制造存储芯片用机器，将离子注入半导体晶片的机器，真空泵，离子植入器，所有上述产品用的零件和结构部件；
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