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0911电子显微镜；

0744半导体光掩模用缺陷修复机、半导体光罩用缺陷修复机、平板显示器光掩模坯料用缺陷修复机、平板显示器光掩膜用缺陷修复机、半导体晶片用缺陷修复机；

0901可下载的计算机程序、电化学反应的原位可视化用系统、计算机外围设备、已录制的或可下载的数据集、计算机软件（已录制）、可下载的计算机应用软件、计算机硬件；

0910电化学反应的原位可视化用系统、测量装置、探测器、材料检验仪器和机器、非医用测试仪、精密测量仪器、半导体材料和元件检测设备、半导体检测机器和仪器、半导体光掩模检测装置、半导体光掩模用缺陷分析装置、半导体光掩模图形检测装置、半导体光掩模图形测量装置、半导体光掩模成像装置、半导体光掩模相移测量装置、半导体光掩模透射率测量装置、用于测量半导体光掩模相移量的设备和仪器、半导体掩模板检测装置、半导体掩膜版电路图案检测装置、半导体光罩缺陷分析装置、半导体掩膜版电路图案测量装置、半导体掩模板成像装置、半导体晶片的检验装置、半导体晶片测量装置、半导体晶片成像装置、半导体晶片边缘检查装置、半导体晶片缺陷分析装置、半导体光掩模坯料成像装置、半导体光掩模坯料检查装置、平板显示器光罩检测设备、平板显示器光掩模图案检查装置、平板显示器光掩模图案测量装置、平板显示器光掩模坯料检查装置、平板显示器光罩用防尘薄膜检测设备、平板显示器光掩模用薄膜安装装置；

0911电子显微镜、光学器械和仪器、激光显微镜、共聚焦显微镜；

0901可下载的计算机程序、计算机硬件、可下载的计算机应用软件、计算机软件（已录制）、已录制的或可下载的数据集；

0910精密测量仪器、非医用测试仪、材料检验仪器和机器、探测器、测量装置、半导体检测机器和仪器、半导体材料和元件检测设备、半导体光掩模坯料成像装置、半导体光掩模坯料检查装置、半导体掩模板成像装置、半导体掩模板检测装置、半导体光掩模成像装置、半导体光掩模检测装置；

0911光学器械和仪器、电子显微镜；

0901可下载的计算机程序、计算机软件（已录制）、可下载的计算机应用软件、计算机硬件、已录制的或可下载的数据集；

0910测量装置、半导体材料和元件检测设备、半导体检测机器和仪器、探测器、材料检验仪器和机器、非医用测试仪、精密测量仪器；

0911光学器械和仪器、共聚焦显微镜、激光显微镜、电子显微镜；

0910液晶显示器色彩滤波系统和薄膜晶体管瑕疵维修装置、周相移动测量装置；

0911共焦扫描显微镜、光学装置,即光掩膜装置和标线片检查装置,用于晶片(硅片)和空白掩模的液晶显示器色彩滤波检测系统以及薄膜晶体管检验系统；

0913光学装置,即光掩膜装置和标线片检查装置,用于晶片(硅片)和空白掩模的液晶显示器色彩滤波检测系统以及薄膜晶体管检验系统；

0901电化学反应的原位可视化用系统、计算机硬件、可下载的计算机程序、可下载的计算机应用软件、计算机软件（已录制）、已录制的或可下载的数据集；

0910半导体材料和元件检测设备、探测器、材料检验仪器和机器、非医用测试仪、精密测量仪器、半导体检测机器和仪器、测量装置、电化学反应的原位可视化用系统；

0911共聚焦显微镜、电子显微镜、光学器械和仪器；

0744用于半导体光罩的异物去除机、用于半导体光掩模的异物去除机、半导体光罩缺陷修补机、半导体光掩模缺陷修补机；

0910半导体掩膜版电路图案测量装置、半导体掩模板检测装置、半导体光掩模图形测量装置、半导体光掩模检测装置；

0910半导体光掩模检测装置、半导体掩模板检测装置、半导体掩膜版电路图案测量装置、半导体光掩模图形测量装置、半导体掩膜版电路图案检测装置、半导体光掩模图形检测装置；

0901计算机外围设备、已录制的或可下载的数据集、计算机软件（已录制）、可下载的计算机应用软件、电化学反应的原位可视化用系统、计算机硬件、可下载的计算机程序；

0910用于测量半导体光掩模相移量的设备和仪器、半导体掩模板检测装置、半导体光罩缺陷分析装置、半导体掩膜版电路图案检测装置、半导体掩膜版电路图案测量装置、半导体掩模板成像装置、半导体晶片的检验装置、半导体晶片测量装置、测量装置、探测器、材料检验仪器和机器、非医用测试仪、精密测量仪器、半导体材料和元件检测设备、半导体检测机器和仪器、电化学反应的原位可视化用系统、半导体光掩模检测装置、半导体光掩模用缺陷分析装置、半导体光掩模图形检测装置、半导体光掩模图形测量装置、半导体光掩模成像装置、半导体光掩模相移测量装置、半导体光掩模透射率测量装置、半导体晶片成像装置、半导体晶片边缘检查装置、半导体光掩模坯料检查装置、半导体晶片缺陷分析装置、半导体光掩模坯料成像装置、平板显示器光罩检测设备、平板显示器光掩模图案检查装置、平板显示器光掩模图案测量装置、平板显示器光掩模坯料检查装置、平板显示器光罩用防尘薄膜检测设备、平板显示器光掩模用薄膜安装装置；

0911光学器械和仪器、电子显微镜、共聚焦显微镜、激光显微镜；

0744平板显示器光掩模坯料用缺陷修复机、平板显示器光掩膜用缺陷修复机、半导体晶片用缺陷修复机、半导体光罩用缺陷修复机、半导体光掩模用缺陷修复机、、、、、；

0744平板显示器光掩模坯料用缺陷修复机、平板显示器光掩膜用缺陷修复机、半导体晶片用缺陷修复机、半导体光罩用缺陷修复机、半导体光掩模用缺陷修复机、、、、、；

0910材料检验仪器和机器、非医用测试仪、精密测量仪器、半导体材料和元件检测设备、平板显示器制造用光掩模坯料检验设备和仪器、半导体检测机器和仪器、测量装置、探测器；

0910半导体检测机器和仪器、用于测量半导体光掩模相移量的设备和仪器、半导体光掩模透射率测量装置、半导体光掩模相移测量装置、半导体材料和元件检测设备、非医用测试仪、材料检验仪器和机器、探测器、精密测量仪器、测量装置；

0910平板显示器光掩模坯料检查装置、半导体掩膜版电路图案测量装置、半导体掩膜版电路图案检测装置、半导体掩模板成像装置、半导体晶片的检验装置、半导体晶片测量装置、半导体晶片成像装置、半导体晶片缺陷分析装置、半导体晶片边缘检查装置、测量装置、探测器、材料检验仪器和机器、非医用测试仪、半导体光掩模检测装置、半导体光掩模用缺陷分析装置、平板显示器光掩模图案检查装置、平板显示器光掩模用薄膜安装装置、平板显示器光罩用防尘薄膜检测设备、精密测量仪器、半导体光掩模图形检测装置、半导体光掩模图形测量装置、半导体光掩模成像装置、半导体光掩模相移测量装置、半导体光掩模透射率测量装置、用于测量半导体光掩模相移量的设备和仪器、半导体掩模板检测装置、半导体光罩缺陷分析装置、半导体材料和元件检测设备、半导体检测机器和仪器、半导体光掩模坯料检查装置、半导体光掩模坯料成像装置、平板显示器光罩检测设备、平板显示器光掩模图案测量装置；

0911激光显微镜、共聚焦显微镜、光学器械和仪器、电子显微镜、用于电化学反应的原位可视化的光学器械和仪器；

0910半导体材料和元件检测设备、平板显示器光罩检测设备、平板显示器光罩检测用成像设备、平板显示器光罩防尘薄膜检测用成像设备、平板显示器光罩用防尘薄膜检测设备；

0911电子显微镜；

0910半导体光掩模检测装置、半导体光掩模检验用成像装置、半导体光掩模坯料检查装置、半导体光掩模坯料检验用成像装置、半导体晶片的检验装置、半导体晶片检验用成像装置、半导体检测机器和仪器、精密测量仪器、非医用测试仪、半导体材料和元件检测设备、材料检验仪器和机器、探测器、测量装置；

0911光学器械和仪器；