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0910等离子技术和半导体加工，等离子体源，生成等离子的体源，等离子生成设备和仪器，生成电离气体等离子体的体源方面的设备和仪器，等离子研究设备和仪器，等离子群集设备，所有均为实验室设备和仪器；
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0910等离子技术和半导体加工方面的设备和仪器，等离子体源，生成等离子的体源，等离子生成设备和仪器，生成电离气体等离子体的体源，等离子研究设备和仪器，等离子群集设备，所有均为实验室设备和仪器；
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0910波长色散x射线探测器、能量色散X射线光谱检测器、与x射线分析有关的探测器；
0910波长色散x射线探测器、能量色散X射线光谱检测器、与x射线分析有关的探测器；
0901用于与上述产品一起使用的计算机硬件和软件、上述各种产品的零部件和配件；
0910等离子技术和半导体加工方面的设备和仪器、等离子体源、生成等离子体的体源、等离子体生成设备和仪器、生成电离气体等离子体的体源、等离子体研究设备和仪器、等离子体集群工具，所有均为实验室设备和仪器、上述各种产品的零部件和配件；
0901用于与上述产品一起使用的计算机硬件和软件、上述各种产品的零部件和配件；
0910等离子技术和半导体加工方面的设备和仪器、等离子体源、生成等离子体的体源、等离子体生成设备和仪器、生成电离气体等离子体的体源、等离子体研究设备和仪器、等离子体集群工具，所有均为实验室设备和仪器、上述各种产品的零部件和配件；
0901用于显微镜的计算机软件，包括电子和离子束的显微镜、测量显微镜取样的计算机软件，包括电子和离子束的显微镜、用于计算各种薄膜厚度和现存的组合物而对从电子或者粒子束显微镜中的多层取样获得的数据进行X射线处理的计算机软件；
0901用于显微镜的计算机软件，包括电子和离子束的显微镜、测量显微镜取样的计算机软件，包括电子和离子束的显微镜、用于计算各种薄膜厚度和现存的组合物而对从电子或者粒子束显微镜中的多层取样获得的数据进行X射线处理的计算机软件；
0909电子背散射衍射相机、用于与电子束显微镜相关的电子背散射衍射相机、用于与离子束显微镜相关的电子背散射衍射相机；
0911电子背散射衍射相机、用于与电子束显微镜相关的电子背散射衍射相机、用于与离子束显微镜相关的电子背散射衍射相机、用于与电子显微镜相关的检测器、用于与离子束显微镜相关的检测器；
0909电子背散射衍射相机、用于与电子束显微镜相关的电子背散射衍射相机、用于与离子束显微镜相关的电子背散射衍射相机；
0911电子背散射衍射相机、用于与电子束显微镜相关的电子背散射衍射相机、用于与离子束显微镜相关的电子背散射衍射相机、用于与电子显微镜相关的检测器、用于与离子束显微镜相关的检测器；
0901上述各种产品的零部件和配件、用于与上述产品一起使用的计算机硬件和软件；
0910上述各种产品的零部件和配件、用于等离子生成的设备和仪器，用于产生电离气体的等离子体源，等离子研究设备和仪器，等离子体群集工具，所有均为实验室设备和仪器、科学和实验室设备及仪器，即，等离子体源，用于产生等离子的体源；
0901上述各种产品的零部件和配件、用于与上述产品一起使用的计算机硬件和软件；
0910上述各种产品的零部件和配件、用于等离子生成的设备和仪器，用于产生电离气体的等离子体源，等离子研究设备和仪器，等离子体群集工具，所有均为实验室设备和仪器、科学和实验室设备及仪器，即，等离子体源，用于产生等离子的体源；
0726薄膜加工用设备和仪器；
0744薄膜加工设备和仪器，即机器人晶圆处理器；
0726薄膜加工用设备和仪器；
0744薄膜加工设备和仪器，即机器人晶圆处理器；
0726薄膜加工用设备和仪器；
0729用于等离子蚀刻和等离子沉积的柔性等离子处理设备、用于薄膜处理的设备和仪器，即原子层沉积工具、化学气相沉积工具、蚀刻工具和组合工具、薄膜加工用设备和仪器，即具有自动处理功能的原子层沉积工具、蚀刻工具和群集工具；
0744用于等离子蚀刻和等离子沉积的柔性等离子处理设备、用于薄膜处理的设备和仪器，即原子层沉积工具、化学气相沉积工具、蚀刻工具和组合工具；
0726薄膜加工用设备和仪器；
0729用于等离子蚀刻和等离子沉积的柔性等离子处理设备、用于薄膜处理的设备和仪器，即原子层沉积工具、化学气相沉积工具、蚀刻工具和组合工具、薄膜加工用设备和仪器，即具有自动处理功能的原子层沉积工具、蚀刻工具和群集工具；
0744用于等离子蚀刻和等离子沉积的柔性等离子处理设备、用于薄膜处理的设备和仪器，即原子层沉积工具、化学气相沉积工具、蚀刻工具和组合工具；
0910薄膜加工设备和仪器，即机器人电气控制设备和实验室机器人；
0913薄膜加工设备和仪器，即机器人电气控制设备和实验室机器人；
0910薄膜加工设备和仪器，即机器人电气控制设备和实验室机器人；
0913薄膜加工设备和仪器，即机器人电气控制设备和实验室机器人；
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