微弹簧结构精密传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320460592.6
IPC分类号：G01G3/04
申请日期：
2013-07-30
申请人：
李桂新

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微弹簧结构精密传感器
申请号	CN201320460592.6	申请日期	2013-07-30
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01G3/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01G 称量 G01G3/00 以应用可产生弹性形变的元件为特征的称量仪器，例如弹簧秤 G01G3/02 其中称量部件是螺旋弹簧的 G01G3/04 应用多个弹簧的	IPC分类号	G;0;1;G;3;/;0;4查看分类表>
申请人	李桂新	申请人地址	江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道200号中国传感网国际创新园B-209 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡微泰传感封测技术有限公司	当前权利人	无锡微泰传感封测技术有限公司
发明人	李桂新
代理机构	北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郑自群

摘要

本实用新型提出了一种微弹簧结构精密传感器，包括螺帽、基座、MEMS电容传感器、微感应头和引线。其中MEMS电容传感器由下至上依次包括下极板、绝缘介质、微弹簧和上极板；上极板由微弹簧固定在绝缘介质上。当微感应头受力后，驱动内部MEMS电容的上极板和微弹簧，从而改变电容值，最终实现力值到电容值的转化，并获得被测物体的重量。微机械系统有效地改变了设计尺寸，使传感器的尺寸变得更小、更精密。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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