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光学异向性参数测量装置、测量方法及测量用系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201280017649.3
  • IPC分类号:G01N21/21
  • 申请日期:
    2012-04-05
  • 申请人:
    肖特茉丽特株式会社
著录项信息
专利名称光学异向性参数测量装置、测量方法及测量用系统
申请号CN201280017649.3申请日期2012-04-05
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2013-12-25公开/公告号CN103477206A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/21IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;2;1查看分类表>
申请人肖特茉丽特株式会社申请人地址
日本?玉县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社茉丽特当前权利人株式会社茉丽特
发明人田之冈大辅
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人许海兰
摘要
本发明的目的在于通过将入射光垂直照射于试样而谋求装置整体的小型化,同时可在极短时间内测量光学轴的方向以及异向性的大小。本发明的光学异向性参数测量装置,形成有从激光器(6)将入射光朝垂直方向照射至试样(3)且将朝垂直方向反射的反射光经由半透半反镜(7)引导至受光元件(9)的测量光学系统(4),在激光器(6)与半透半反镜(7)之间配置偏振器(P),并且在半透半反镜(7)与受光元件(9)之间配置检光器(A),在半透半反镜(7)与试样(3)之间配置:1/2波长板(12),使通过偏振器(P)所产生的直线偏振光旋转;以及1/4波长板(13),使迟相轴的方向从相对于1/2波长板(12)的迟相轴偏移了±δ(δ≠nπ/4,n是整数)的初始位置,以旋转角度相对于1/2波长板(12)成为2倍的方式同步地被旋转驱动。

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