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根据光刻胶厚度使用处理器改变写入射束的输送剂量的图案产生器及相关方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480057956.3
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2014-06-19
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称根据光刻胶厚度使用处理器改变写入射束的输送剂量的图案产生器及相关方法
申请号CN201480057956.3申请日期2014-06-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-06-08公开/公告号CN105659164A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人克里斯多弗·丹尼斯·本彻
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国;赵静
摘要
揭示根据光刻胶厚度使用处理器改变写入射束的输送剂量的多射束图案产生器及相关方法。图案产生器可在具有光刻胶的基板上写入图案,光刻胶对写入射束敏感。当写入射束在写入像素位置写入图案的至少一部分时,可于各写入周期写入图案。图案产生器的射束致动器可将写入射束独立地引导至写入像素,以于每个写入周期期间输送各像素剂量。可根据一或更多方式利用以下之一或多者而根据不同写入像素位置的光刻胶厚度调整输送的像素剂量:致动器驻留时间、发射的脉冲宽度、发射的脉冲频率和发射的脉冲强度。如此,可为具有变化的光刻胶厚度的基板提供额外的尺寸控制。

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