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一种气体敏感阵列传感器

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720087770.X
  • IPC分类号:G01N27/00;G01N27/12;G01N27/407
  • 申请日期:
    2007-10-26
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种气体敏感阵列传感器
申请号CN200720087770.X申请日期2007-10-26
法律状态放弃专利权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/00IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;0;0;;;G;0;1;N;2;7;/;1;2;;;G;0;1;N;2;7;/;4;0;7查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人谢长生;柏自奎;胡木林;张顺平;曾大文
代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青
摘要
本实用新型公开了一种气体敏感阵列传感器,其结构为:四个测试电极分别位于基片的对边上,阵列加热器正电极及其回路电极分别位于基片的另一条对边上;测试电极的回路电极分别位于二对测试电极之间,并相互平行。测试电极的回路电极和阵列加热器正电极的回路电极连接而成‘ㄈ’形,作为公共电极;在阵列加热器正电极与阵列加热器正电极的回路电极之间的基片上印刷有加热膜,在各测试电极与其公共电极之间的基片上分别印刷有金属氧化物敏感层,在基片的中心安装有轴,轴穿过加热膜,并固定在基座的中心,基片与基座留有间隙;基座上还设有至少六个接线柱。该气体敏感阵列传感器生产成本低、功耗低、机械稳定性好、各单元具有不同的气体敏感特性,制备工艺有助于大批量生产。

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