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一种激光剥离方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811535413.4
IPC分类号：H01L21/00;B23K26/36;H01L33/00
申请日期：
2018-12-14
申请人：
昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种激光剥离方法
申请号	CN201811535413.4	申请日期	2018-12-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-23	公开/公告号	CN111318810A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司	申请人地址	四川省成都市高新区天映路146号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都辰显光电有限公司	当前权利人	成都辰显光电有限公司
发明人	李晓伟
代理机构	北京布瑞知识产权代理有限公司	代理人	孟潭

摘要

本发明提供了一种激光剥离方法，该方法包括提供待剥离组件，该待剥离组件包括衬底和形成于衬底之上的靶材膜层；采用一组同心环形光斑激光束从边缘向中心依次顺序照射衬底表面，以对衬底进行剥离。通过采用一组同心环形光斑激光束对衬底进行剥离，相比于传统的点光斑激光束而言，极大地提高了一次照射面积，从而提高了剥离速率。

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