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加热控制装置及物理气相沉积设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410286251.0
  • IPC分类号:C23C14/54
  • 申请日期:
    2014-06-24
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称加热控制装置及物理气相沉积设备
申请号CN201410286251.0申请日期2014-06-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-12-30公开/公告号CN105200387A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/54IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人高正;陈春伟;佘清;赵可可;李新颖
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人李芙蓉
摘要
本发明公开了一种加热控制装置及物理气相沉积设备。该装置包括转动部、驱动装置、固定部、加热件连接部和加热件;加热件连接部包括固定端和加热端,固定端与固定部连接,加热端与加热件连接;转动部在驱动装置的驱动下能够带动加热件在预设圆形范围内移动,且所述移动在所述预设圆形的径向方向上存在位移。其提高去气腔室中基片加热的均匀性,同时也可根据加工需要对基片某一位置进行集中加热,加热控制灵活。

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