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制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510598395.4
  • IPC分类号:H01L31/0224
  • 申请日期:
    2015-09-18
  • 申请人:
    河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司
著录项信息
专利名称制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用
申请号CN201510598395.4申请日期2015-09-18
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-02-03公开/公告号CN105304732A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/0224IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;2;2;4查看分类表>
申请人河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司申请人地址
河北省唐山市曹妃甸工业区新兴产业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河北贵能新能源科技有限公司当前权利人河北贵能新能源科技有限公司
发明人刘佳
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)代理人李志东
摘要
本发明提供了制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用,该方法包括:(1)利用导电氧化物,在衬底的一个表面上进行沉积处理,以便形成沉积薄膜,沉积处理包括依次进行的一次沉积和二次沉积;以及(2)对沉积薄膜进行湿法蚀刻,以便形成透明导电氧化物薄膜,其中,一次沉积是在0~400摄氏度的温度下进行的,以及二次沉积是在400~800摄氏度的温度下进行的。发明人发现,利用本发明的该方法,能够快速有效地制备获得透明导电氧化物薄膜,且步骤简单,操作容易、方便快捷,制备获得的透明导电氧化物薄膜具有较高的光透过率、高雾度和较高的均匀性。

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