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用于沉积腔室的冷却的反射接装板

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201380021867.9
  • IPC分类号:H01L21/205;H01L21/324
  • 申请日期:
    2013-03-21
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称用于沉积腔室的冷却的反射接装板
申请号CN201380021867.9申请日期2013-03-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-12-24公开/公告号CN104246984A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/205IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;0;5;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;4查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人阿希什·戈埃尔;阿纳塔·苏比玛尼;莫里斯·E·尤尔特
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国;赵静
摘要
在一个实施例中,设置一种用于沉积腔室的接装板。所述接装板包含:主体;安装板,所述安装板中心地定位于所述主体上;第一环形部,所述第一环形部从所述安装板的第一表面纵向地延伸且从所述安装板的外表面径向向内设置;第二环形部,所述第二环形部从所述安装板的相对的第二表面纵向地延伸且从所述安装板的所述外表面径向向内设置;及镜面加工表面,所述镜面加工表面设置于所述第二环形部的内部,所述镜面加工表面具有6Ra或更小的平均表面粗糙度。

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