用于使用涡流的薄膜基板信号分离的系统、方法及设备

发明专利无效专利

申请号：
CN200380107407.4
IPC分类号：G01N27/72
申请日期：
2003-12-22
申请人：
兰姆研究有限公司

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著录项信息

专利名称	用于使用涡流的薄膜基板信号分离的系统、方法及设备
申请号	CN200380107407.4	申请日期	2003-12-22
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2006-02-08	公开/公告号	CN1732384
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/72 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/72 通过测试磁变量	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;7;2查看分类表>
申请人	兰姆研究有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	兰姆研究有限公司	当前权利人	兰姆研究有限公司
发明人	Y·戈特基斯
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	王岳;梁永

摘要

一种用于确定由基板引起的涡流传感器(ECS)信号分量的系统及方法，包括将基板放在相对于ECS的第一位置中，该第一位置与ECS相距第一距离。基板可包括位于基板的第一表面上的导电膜。可检测基板位于第一位置时的第一ECS信号。接着可相对于ECS翻转基板，使得基板位于相对于ECS的第二位置中，该第二位置与ECS相距第二距离。第二距离等于第一距离减去约基板厚度。检测基板位于第二个位置时的第二ECS信号。确定差信号。差信号等于在ECS的校正图上第一信号电平与第二信号电平之间的差。第二信号电平偏移大约等于基板厚度的距离。计算第一ECS信号的第一基板分量。第一ECS信号的第一基板分量等于第一距离与差信号的乘积，除以基板厚度。

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