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感光性树脂组合物以及被蚀刻基体的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910215323.1
  • IPC分类号:G03F7/027;G03F7/031;G03F7/00
  • 申请日期:
    2009-12-23
  • 申请人:
    东京应化工业株式会社
著录项信息
专利名称感光性树脂组合物以及被蚀刻基体的制造方法
申请号CN200910215323.1申请日期2009-12-23
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2010-07-14公开/公告号CN101776845A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/027IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;3;1;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人东京应化工业株式会社申请人地址
日本神奈川县川崎市中原区中丸子150番地 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京应化工业株式会社当前权利人东京应化工业株式会社
发明人植松照博;桃泽绫;高木利哉
代理机构广州三环专利代理有限公司代理人郝传鑫
摘要
本发明提供一种感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物兼具充分的耐药品性和良好的剥离性、并且用于得到与基材上的金属膜之间显示良好粘合性的树脂图案,以及提供一种使用了这种树脂图案的被蚀刻基体的制造方法。本发明的感光性树脂组合物包含:通过使来自含酸基的丙烯酸类树脂的一部分酸基与来自含脂环族环氧基的不饱和化合物的环氧基反应而生成的碱性可溶性树脂(A);三官能以上的多官能单体(B);含氮单官能单体(C);光聚合引发剂(D)。

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