图形加工对位法

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专利名称	图形加工对位法
申请号	CN97121349.6	申请日期	1997-10-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1999-04-28	公开/公告号	CN1215221
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	研能科技股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹科学园区研发二路28号1F 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	研能科技股份有限公司	当前权利人	研能科技股份有限公司
发明人	莫自治;郑香京;周沁怡;杨长谋
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	潘帼萍

摘要

本发明涉及一种图形加工对位方法，其应用在一晶片上，其特点是，该晶片的第一面具有一集成电路构造，而于该晶片的第二面上形成有关图形的加工对位方法，它以透明膜的良好的透明特性，应用于对位的制程上。本发明由于以照相方式在透明膜上形成基准图形，因此能精确掌握图形的位置，有效地进行对位。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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