基片托板系统与用于抛光基片的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910135152.1
IPC分类号：B24B29/02;H01L21/304;B24B49/16
申请日期：
2002-05-29
申请人：
株式会社荏原制作所

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著录项信息

专利名称	基片托板系统与用于抛光基片的方法
申请号	CN200910135152.1	申请日期	2002-05-29
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-09	公开/公告号	CN101524826
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B29/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B29/00 有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置（使用砂带磨削或抛光入B24B 21/00）〔4〕 B24B29/02 适用于特殊工件的〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;B;2;4;B;4;9;/;1;6查看分类表>
申请人	株式会社荏原制作所	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社荏原制作所	当前权利人	株式会社荏原制作所
发明人	户川哲二
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	黄永杰

摘要

一种基片托板系统，其包括：基片托板，其包括保持环，该保持环用于夹持基片，并将基片定位，以便在抛光过程中使基片的表面与抛光表面接触，所述基片托板还包括连接到所述保持环上的基片托板主体装置；基片托板驱动轴，其与所述基片托板连接，用于驱动、上升和下降所述基片托板；滚珠丝杠和滚珠螺母，该滚珠丝杠和滚珠螺母与所述基片托板驱动轴连接；脉冲马达，其与所述滚珠丝杠接合，用于将所述基片托板上升和下降到所希望的垂直位置；流体压力源，其向基片上方供给增压流体；和控制装置，其用于通过所述脉冲马达、所述滚珠丝杠和所述滚珠螺母固定所述基片托板的垂直位置，直到所述基片托板被固定在所希望的垂直位置，并向所述基片上方导入增压流体，将基片压贴到所述抛光表面。

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