一种双臂自动装片式溅射镀膜装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420523533.3
IPC分类号：C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56
申请日期：
2014-09-12
申请人：
光驰科技（上海）有限公司

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专利名称	一种双臂自动装片式溅射镀膜装置
申请号	CN201420523533.3	申请日期	2014-09-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人	光驰科技（上海）有限公司	申请人地址	上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	光驰科技（上海）有限公司	当前权利人	光驰科技（上海）有限公司
发明人	戴秀海;余海春;王德智;汪洋;余龙;马淑莹
代理机构	上海申蒙商标专利代理有限公司	代理人	徐小蓉

摘要

本实用新型涉及真空薄膜技术领域，具体涉及一种双臂自动装片式溅射镀膜装置，其特征在于：在所述真空镀膜室内设置一旋转机构，所述旋转机构连接于所述基片架的旋转中心，所述旋转机构驱动所述基片架在所述真空镀膜室内旋转；将所述进、出片室设置于所述真空镀膜室的同侧，且所述进、出片口分别对准所述基片架上相邻的两个所述工位，在所述进、出片室内分别设置上、下片输送机构。本实用新型的优点是：1)可实现同时上片和下片的功能，大大提高了生产效率。2)具有结构紧凑、占地面积小、运营成本低的优点。3）可实现在同一个镀膜流程中镀制多种功能性薄膜的需要。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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