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一种体声波滤波器装置及提升带外抑制的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110619580.2
  • IPC分类号:H03H9/56;H03H9/10;H03H9/02
  • 申请日期:
    2021-06-03
  • 申请人:
    成都频岢微电子有限公司
著录项信息
专利名称一种体声波滤波器装置及提升带外抑制的方法
申请号CN202110619580.2申请日期2021-06-03
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-17公开/公告号CN113411069A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03H9/56IPC分类号H;0;3;H;9;/;5;6;;;H;0;3;H;9;/;1;0;;;H;0;3;H;9;/;0;2查看分类表>
申请人成都频岢微电子有限公司申请人地址
四川省成都市郫都区德源镇(菁蓉镇)田坝东街6号4楼401室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人成都频岢微电子有限公司当前权利人成都频岢微电子有限公司
发明人雷强;杨涛;董元旦;马增红;许夏茜;漆丹
代理机构成都拓荒者知识产权代理有限公司代理人杨争华
摘要
本发明公开了一种体声波滤波器装置及提升带外抑制的方法,其中,体声波滤波器装置包括基板、保护帽晶圆以及滤波器晶圆,所述滤波器晶圆上设置有薄膜体声波滤波器,所述薄膜体声波滤波器的外围形成有金属密封环,金属密封环通过保护帽晶圆的金属化过孔以倒装焊的方式与基板的接地平面连接。进一步的,将滤波器中的并联谐振臂对应连接金属层上的一个电感后与接地金属连接,且相邻两个电感之间均通过接地金属相隔开。本发明提供的体声波滤波器以及提升带外抑制的方法,在不增加滤波器级数以及结构复杂度的情况下,提升了滤波器的带外抑制,且未造成滤波器插损的恶化,同时更有利于滤波器小型化的设计。

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