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一种硅片在线称重控制系统及其控制方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410448204.1
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L31/18
  • 申请日期:
    2014-09-04
  • 申请人:
    常州捷佳创精密机械有限公司
著录项信息
专利名称一种硅片在线称重控制系统及其控制方法
申请号CN201410448204.1申请日期2014-09-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-02-04公开/公告号CN104332430A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人常州捷佳创精密机械有限公司申请人地址
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州捷佳创精密机械有限公司当前权利人常州捷佳创精密机械有限公司
发明人左国军;夏展
代理机构深圳市康弘知识产权代理有限公司代理人胡朝阳;孙洁敏
摘要
本发明公开了一种硅片在线称重控制系统,包括:用于对硅片进行工艺处理的工艺设备,工艺设备的两端设有与其对接的进料称重系统和出料称重系统,进、出料称重系统和工艺设备均与中央处理系统连接;中央处理系统控制进、出料称重系统对硅片进行称重和传送,记录进、出料称重系统反馈的重量数据并计算得出硅片工艺处理前后的减重量,然后将计算出的减重量与标准减重量对比判断异常,根据判断结果对工艺设备的工艺参数进行调整。本发明还提供了一种上述硅片在线称重控制系统的控制方法。本发明能实现自动在线检测处理前后的硅片重量、通过中央处理控制系统自动对比分析并调整工艺参数,提高硅片的生产质量和生产效率。

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