石英玻璃微缺陷检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610055734.9
IPC分类号：G01N21/958;G01N1/32
申请日期：
2016-01-27
申请人：
中国建筑材料科学研究总院

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	石英玻璃微缺陷检测方法
申请号	CN201610055734.9	申请日期	2016-01-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-06-29	公开/公告号	CN105717137A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/958 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/958 检测透明材料〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;8;;;G;0;1;N;1;/;3;2查看分类表>
申请人	中国建筑材料科学研究总院	申请人地址	北京市朝阳区管庄东里1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国建筑材料科学研究总院	当前权利人	中国建筑材料科学研究总院
发明人	聂兰舰;向在奎;杜秀蓉;张晓强;王蕾;王慧;刘飞翔;贾亚男;符博
代理机构	北京鼎佳达知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王伟锋;刘铁生

摘要

本发明公开了一种石英玻璃微缺陷检测方法，包括如下步骤：将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光；将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀；石英玻璃样品腐蚀0.5～2小时取出并用去离子水清洗干净，利用显微镜观察检测石英玻璃样品；按上述步骤对石英玻璃样品重复腐蚀和观察，直至观察到石英玻璃样品中的缺陷或至石英玻璃样品的厚度剩余20‑30μm仍未观察到缺陷。本发明方法可检测石英玻璃中的微缺陷。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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