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利用研磨垫整理装置整理研磨垫的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02155703.9
  • IPC分类号:H01L21/304;B24B7/22
  • 申请日期:
    2002-12-03
  • 申请人:
    旺宏电子股份有限公司
著录项信息
专利名称利用研磨垫整理装置整理研磨垫的方法
申请号CN02155703.9申请日期2002-12-03
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-06-16公开/公告号CN1505109
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;B;2;4;B;7;/;2;2查看分类表>
申请人旺宏电子股份有限公司申请人地址
台湾省新竹 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旺宏电子股份有限公司当前权利人旺宏电子股份有限公司
发明人洪永泰
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司代理人楼仙英;潘培坤
摘要
本发明涉及一种利用研磨垫整理装置整理研磨垫的方法,适用于研磨半导体晶片的化学机械研磨设备中,包括:转动一内设置有一相反电极的研磨垫;转动具有一研磨盘及一研磨支撑架的一研磨垫整理器,其中该研磨垫整理器内设置有一电极;以该研磨垫整理器的上该研磨盘接触该研磨垫,以整理该研磨垫;以及施加一偏压于该相反电极及该电极间以产生一电场使得该研磨盘吸附或吸引带电荷粒子。本发明能使研磨垫整理器有效移去在研磨垫上带电荷的微小粒子例如为氧化物、金属及残留在研磨垫内的研磨浆的研磨颗粒。

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