一种非对称爪型干式真空泵

实用新型专利无效专利

申请号：
CN03237695.2
IPC分类号：--
申请日期：
2003-09-30
申请人：
巴一

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种非对称爪型干式真空泵
申请号	CN03237695.2	申请日期	2003-09-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	巴一	申请人地址	辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号东北大学102号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	巴一	当前权利人	巴一
发明人	巴一;巴德纯
代理机构	沈阳东大专利代理有限公司	代理人	崔兰莳

摘要

一种尤其适用于半导体加工行业使用的非对称爪型真空泵，它在具有泵壳，主、从动轴，主、从动齿轮结构的真空泵基础上，沿主、从动轴轴身延长方向分别设有主、从动转子，其形态相同大小不等，转子上的爪数2～6只，爪间夹角相等，爪形线由圆弧、摆线、直线以及它们的包络线连接而成，由此构成的转子对间还设有具有吸、排口的隔板，相邻转子对沿轴断面的圆周方向以30～90°夹角设置，此泵相对现有技术具有容积利用系数大，真空度高，结构简单，耗能少，噪声小，成本低的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供