步进电机的控制方法、装置及阻抗匹配器

发明专利有效专利

申请号：
CN201110021619.7
IPC分类号：H02P8/14;H02P8/36;H02P8/38
申请日期：
2011-01-19
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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著录项信息

专利名称	步进电机的控制方法、装置及阻抗匹配器
申请号	CN201110021619.7	申请日期	2011-01-19
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-25	公开/公告号	CN102611373A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02P8/14 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02P 电动机、发电机或机电变换器的控制或调节；控制变压器、电抗器或扼流圈〔4〕 H02P8/00 用于控制旋转步进电动机的装置〔2，6，8〕 H02P8/14 用于控制速度或速度和转矩的装置（H02P 8/12，H02P 8/22优先）〔6〕	IPC分类号	H;0;2;P;8;/;1;4;;;H;0;2;P;8;/;3;6;;;H;0;2;P;8;/;3;8查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	刘建生
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	张天舒;陈源

摘要

本发明提供一种步进电机的控制方法、装置及等阻抗匹配器，其中，方法包括：根据匹配网络的输入阻抗与功率源的输出阻抗之间的阻抗差计算步进电机的运行周期的算法步进调整量；根据所述步进电机上一运行周期的实际步进调整量和所述运行周期的算法步进调整量获得所述运行周期的实际步进调整量；根据所述运行周期的实际步进调整量来调整所述步进电机的运行速度，以控制所述步进电机在所述运行周期内以调整后的运行速度恒速运转。本发明的技术方案按照阶梯增量变速算法来调整步进电机的运行速度，精确控制步进电机的运行速度，避免步进电机在启动、停止或频繁换向时因运行速度变化过快而发生丢步等问题。

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