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用于能量射束偏转速度验证的方法和装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201580044529.6
  • IPC分类号:B22F3/105;B23K15/00;B23K26/04;G01B11/00;G01B11/14;G01B15/00;G01P3/36;G01P21/00
  • 申请日期:
    2015-07-30
  • 申请人:
    阿卡姆股份公司
著录项信息
专利名称用于能量射束偏转速度验证的方法和装置
申请号CN201580044529.6申请日期2015-07-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-04-19公开/公告号CN106573305A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B22F3/105IPC分类号B;2;2;F;3;/;1;0;5;;;B;2;3;K;1;5;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;0;4;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;1;4;;;G;0;1;B;1;5;/;0;0;;;G;0;1;P;3;/;3;6;;;G;0;1;P;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人阿卡姆股份公司申请人地址
瑞典默恩达尔 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人阿卡姆股份公司当前权利人阿卡姆股份公司
发明人A.斯尼斯
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人叶菲;张涛
摘要
一种用于验证能量射束点的偏转速度的方法,所述方法包括以下步骤:利用能量射束点在工作台上提供预定的图案,而同时用第一偏转速度来偏转能量射束点,检测工作台上用第一偏转速度所创建的能量射束点的第一定位,利用能量射束点在工作台上提供预定的图案,而同时用第二偏转速度来偏转能量射束点,检测工作台上用第二偏转速度所创建的能量射束点的第二定位,比较第一和第二定位,其中如果第一定位中的每一个从对应的第二定位偏离得小于预定距离则偏转速度被验证。

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