图案修正方法及图案修正装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200710148861.4
IPC分类号：G02F1/13;G02F1/1362;H01J9/02
申请日期：
2007-09-04
申请人：
NTN株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	图案修正方法及图案修正装置
申请号	CN200710148861.4	申请日期	2007-09-04
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-03-12	公开/公告号	CN101140364
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/13 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;2;F;1;/;1;3;6;2;;;H;0;1;J;9;/;0;2查看分类表>
申请人	NTN株式会社	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	NTN株式会社	当前权利人	NTN株式会社
发明人	小池孝志;清水茂夫
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	马淑香

摘要

本发明提供一种可用10μm左右的细线来修正断线缺陷部等、且缺陷部周围的污染小的图案修正方法。在所述图案修正方法中，在膜(3)的表面上照射激光来形成通孔(3a)，使通孔(3a)的膜(3)表面侧的开口部与缺陷部(2a)空开规定间隙(G)地对置，在包括通孔(3a)在内的规定范围内将膜(3)推压在基板(1)上并通过通孔(3a)在缺陷部上涂敷修正浆液(12)，以膜(3)的恢复力使膜(3)从基板(1)上剥离。因此，可抑制修正浆液(12)因毛细管现象而流入膜(3)与基板(1)之间。

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