一种超滑表面的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811018863.6
IPC分类号：B81C1/00
申请日期：
2018-09-03
申请人：
山东科技大学

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著录项信息

专利名称	一种超滑表面的制备方法
申请号	CN201811018863.6	申请日期	2018-09-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-01	公开/公告号	CN109292730A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	山东科技大学	申请人地址	山东省青岛市黄岛区经济技术开发区前湾港路579号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东科技大学	当前权利人	山东科技大学
发明人	王清;王宁;徐双双;郑旭
代理机构	青岛智地领创专利代理有限公司	代理人	肖峰

摘要

本发明公开了一种超滑表面的制备方法，包括以下步骤：第一步，旋涂第一层紫外光刻正胶，进行常规光刻；第二步，旋涂第二层紫外光刻负胶，倾斜基底进行光刻；第三步，浸涂低表面能纳米颗粒；第四步，浸润润滑油。本发明通过旋涂双层紫外光刻胶，进行两次光刻，并且光刻时采用常规光刻与倾斜基底光刻相结合从而在常规光刻图案基底上又增加了一层具有一定倾斜角度的单向倾斜的，可自由调控的微结构；然后再浸涂低表面能纳米颗粒从而构建出微纳复合结构。这种倾斜与垂直的微米级结构之间形成的半闭锁空间，结合浸涂纳米颗粒增加的粗糙度使得润滑油更容易的留存在结构之中，使得润滑油不容易流失，从而有利于锁住润滑油。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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