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采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720187345.8
  • IPC分类号:G03F7/20;H01L21/68
  • 申请日期:
    2007-12-21
  • 申请人:
    清华大学
著录项信息
专利名称采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置
申请号CN200720187345.8申请日期2007-12-21
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人清华大学申请人地址
北京市信箱82分箱清华大学专利办公室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人清华大学当前权利人清华大学
发明人朱煜;张鸣;汪劲松;徐登峰;尹文生;胡金春;杨开明;李广;闵伟;段广洪
代理机构暂无代理人暂无
摘要
采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置,该装置主要应用于半导体光刻机中。本实用新型含有运行于预处理工位的硅片台、运行于曝光工位的硅片台和两个十字导轨驱动单元,每个十字导轨驱动单元包含X向直线电机、Y向直线电机和用以推动硅片台运动的推杆;十字导轨驱动单元与硅片台之间通过真空轴承吸住,带动硅片台作大范围X、Y方向运动。本实用新型采用两个双自由度驱动单元,使装置结构大大得以简化,有效降低了同步控制的要求。

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