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对准衍射光学系统的方法和衍射光学元件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880012492.2
  • IPC分类号:G03F7/20;G01B11/00;G02B5/18;G11B7/1353
  • 申请日期:
    2018-01-25
  • 申请人:
    ASML荷兰有限公司
著录项信息
专利名称对准衍射光学系统的方法和衍射光学元件
申请号CN201880012492.2申请日期2018-01-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-10-08公开/公告号CN110312968A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;2;B;5;/;1;8;;;G;1;1;B;7;/;1;3;5;3查看分类表>
申请人ASML荷兰有限公司申请人地址
荷兰维德霍温 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ASML荷兰有限公司当前权利人ASML荷兰有限公司
发明人S·B·罗博尔;S·G·J·马西森;S·M·B·鲍默
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人王静
摘要
一种将待操作的衍射光学系统与操作束对准的方法,所述方法包括:使用具有与操作束不同的波长范围的对准束并使用被优化(552)以在同一(或预定的)方向上衍射对准束和操作束的衍射光学元件来对准(558)衍射光学系统。在示例中,所述对准束包括红外(IR)辐射,所述操作束包括软X射线(SXR)辐射。通过向衍射光学元件提供具有第一节距(pIR)的第一周期性结构和具有第二节距(pSXR)的第二周期性结构来优化所述衍射光学元件。在对准之后,抽空(562)真空系统并且在操作中,通过由IR对准束的光源泵浦的高次谐波产生(HHG)光源来产生(564)SXR操作束。

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