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树脂密封装置及树脂密封电子部件的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110081012.8
  • IPC分类号:H01L21/56;H01L21/677
  • 申请日期:
    2011-03-25
  • 申请人:
    东和株式会社
著录项信息
专利名称树脂密封装置及树脂密封电子部件的制造方法
申请号CN201110081012.8申请日期2011-03-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-02-08公开/公告号CN102347244A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/56IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人东和株式会社申请人地址
日本京都府京都市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东和株式会社当前权利人东和株式会社
发明人高田直毅
代理机构北京北翔知识产权代理有限公司代理人杨勇;郑建晖
摘要
本发明的树脂密封装置对为了进行树脂密封而配置于成型模上的密封前基板适当进行预加热。对安装于密封前基板上的芯片进行树脂密封的树脂密封装置具备:成型模块;分别设置于各成型模块上的下型;与下型分别相对向设置的上型;设置在各下型上的由流动性树脂填满的模穴;将密封前基板搬送至各成型模块的第1搬送装置;设置于第1搬送装置上的第1加热器;第2搬送装置,将从第1搬送装置接收的密封前基板移送至模穴上方并传递至上型模具工作面;设置于第2搬送装置上的第2加热器。第1加热器在将密封前基板搬送至各成型模块的过程中分别对其进行面加热,第2加热器在将接收的密封前基板传递至上型模具工作面的过程中分别对其进行面加热。

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