一种皮秒激光蚀刻微型电路工艺

发明专利有效专利

申请号：
CN201310447629.6
IPC分类号：B23K26/362;H05K3/02;H05K1/02
申请日期：
2013-09-27
申请人：
东莞市盛雄激光设备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种皮秒激光蚀刻微型电路工艺
申请号	CN201310447629.6	申请日期	2013-09-27
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2014-01-08	公开/公告号	CN103495806A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/362 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕 B23K26/362 激光刻蚀〔2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;6;2;;;H;0;5;K;3;/;0;2;;;H;0;5;K;1;/;0;2查看分类表>
申请人	东莞市盛雄激光设备有限公司	申请人地址	广东省东莞市大朗镇佛新社区富民南路8号酷赛科技园3栋二楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司	当前权利人	东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司
发明人	陶雄兵
代理机构	东莞市华南专利商标事务所有限公司	代理人	张瑞杰

摘要

本发明涉及微型电路板技术领域，具体涉及一种皮秒激光蚀刻微型电路工艺，包括如下步骤：A、将表面依次印刷有陶瓷膜基底和金属导电膜层的PET膜正面朝上固定在激光刻蚀机的工作平台上，调整激光刻蚀机与工作平台的相对位置或激光刻蚀机的激光头的高度，使激光刻蚀机的激光焦点落在基底的正上方；B、将要刻蚀的导电膜图形和陶瓷膜图形分别导出并输入激光刻蚀机，并作为两个图层；分别对导电膜图形图层和陶瓷膜图形图层设置激光参数和运动参数；C、启动激光刻蚀机，对基底的导电膜图形图层和陶瓷膜图形图层分别进行刻蚀，制得微型电路板。本发明的工艺能够满足微型电路板表面高精度、高密度布线，可以一次完成陶瓷膜和导电膜的刻蚀，成本低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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