一种防止焊盘和探针卡烧毁的测试电路及其使用方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910796050.8
IPC分类号：G01R31/26
申请日期：
2019-08-27
申请人：
上海华力微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种防止焊盘和探针卡烧毁的测试电路及其使用方法
申请号	CN201910796050.8	申请日期	2019-08-27
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-15	公开/公告号	CN110456249A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区自由贸易试验区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	朱月芹;陈雷刚;周柯
代理机构	上海浦一知识产权代理有限公司	代理人	戴广志

摘要

本发明提供一种防止焊盘和探针卡烧毁的测试电路及其使用方法，防止焊盘和探针卡烧毁的测试电路，包括：测试金属线和与其并联的辅助电路；分别连接在测试金属线和辅助电路两端的第一、第二电流输入端；分别与第一、第二电流输入端对应连接的第一、第二电压测试端；辅助电路由一个从第一电流输入端至第二电流输入端反接的二极管和一个高阻值电阻串联而成。通过加入辅助电路来分担失效瞬间的大电压产生的过冲电流，以阻止大电压在焊盘间形成击穿造成烧毁。辅助电路使用二极管作为电路控制器，以保证在正常测试过程中处于断路状态，不影响电迁移ISOEM的正常测试以及测试过程中的阻值量测。

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