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曝光机及遮光叶片

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710583019.7
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2017-07-17
  • 申请人:
    深圳市华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称曝光机及遮光叶片
申请号CN201710583019.7申请日期2017-07-17
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2017-09-29公开/公告号CN107219729A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人深圳市华星光电技术有限公司申请人地址
广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人TCL华星光电技术有限公司当前权利人TCL华星光电技术有限公司
发明人王维;林明文;江敏成;许俊安;熊定;蔡在秉
代理机构深圳市德力知识产权代理事务所代理人林才桂
摘要
本发明提供一种曝光机及遮光叶片。该曝光机通过在第一前遮光叶片的竖直部中设置开口,使得第一前遮光叶片移动时空气可通过所述开口流动,进而减少第一前遮光叶片移动时第一前遮光叶片与光罩保护膜之间的气压下降,避免光罩保护膜被刮蹭,并通过在所述开口的顶部和侧部设置遮光板,避免曝光所用的紫外光从所述开口泄漏出去,保证第一前遮光叶片的遮光效果和曝光机的曝光效果,防止图形异常。

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