具有方向识别功能的自混合干涉HeNe激光位移传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN200510011358.5
IPC分类号：G01B11/02;G01B9/02
申请日期：
2005-02-25
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	具有方向识别功能的自混合干涉HeNe激光位移传感器
申请号	CN200510011358.5	申请日期	2005-02-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-08-17	公开/公告号	CN1654921
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市北京－82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	刘刚;张书练;朱钧;李岩
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

具有方向识别功能的自混合干涉HeNe激光位移传感器，属于激光位移测量领域，其特征在于：它由光源，测量部分和信号处理3个部分组成，结构紧凑，仅有一个干涉通道。光源使用的是能输出两光强不同的正交偏振光的双纵模激光器，在测量过程中，对激光器输出的两束正交的偏振光进行探测可以获得两路相位差相反的光强信号，两光强信号一个周期中有两个不同的等光强点。两等光强点差值的正负因物体移动方向的不同而不同，可以据此实现判向。每一个周期的光强信号对应激光器半个波长的位移，即系统的分辨率为半个激光器波长。它是一种结构紧凑简单紧凑，性价比高，并能实现在无需控制光回馈水平的条件下实现判向的自混合干涉位移传感器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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