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致动器及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200310115769.X
IPC分类号：--
申请日期：
2003-11-28
申请人：
TDK株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	致动器及其制造方法
申请号	CN200310115769.X	申请日期	2003-11-28
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2004-06-16	公开/公告号	CN1504998
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	TDK株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	TDK株式会社	当前权利人	TDK株式会社
发明人	宫野雅一;本间光尚
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

本发明提供一种致动器(1)，其具有一对臂(12)和一个将臂相互连接的连接部件(15)。臂(12)和连接部件(15)整个地由单晶硅形成。各自的压电装置(30)结合在臂(12)上。

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