新型电磁控阴极电弧源

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专利名称	新型电磁控阴极电弧源
申请号	CN90100946.6	申请日期	1990-02-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1991-09-11	公开/公告号	CN1054451
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	北京联合大学机械工程学院	申请人地址	北京市朝阳区白家庄西里变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京联合大学机械工程学院	当前权利人	北京联合大学机械工程学院
发明人	王福贞;袁哲;唐希源;周友苏;张树林;程永清
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明是一种新型电磁控阴极电弧源，应用于真空镀膜、离子镀膜、离子渗金属领域的设备中，其特征在于控制电磁线圈的排布方式，在放电过程中不断改变线圈电流的方向和大小，在靶面产生的磁感应强度在10°-10-ZT范围变化，阴极电弧弧斑在靶面上由小环到大环周期变化。靶材烧蚀均匀，靶材利用率高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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