用于半导体器件制备的显影设备及其控制方法

发明专利无效专利

申请号：
CN97113629.7
IPC分类号：--
申请日期：
1997-06-20
申请人：
三星电子株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于半导体器件制备的显影设备及其控制方法
申请号	CN97113629.7	申请日期	1997-06-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1998-06-03	公开/公告号	CN1183580
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三星电子株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星电子株式会社	当前权利人	三星电子株式会社
发明人	金东浩;安雄宽;朴济应;李炳官
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	邹光新;傅康

摘要

一种用于半导体器件制备的显影设备，包括工作台，装在工作台上并装有适量显影液的容器，装在容器上方、固定已曝光晶片底面的旋转盘，使旋转盘转动的驱动电机，使旋转盘垂直传动以使晶片在容器中上下移动的垂直驱动器，使旋转盘和垂直驱动器转动一定角度以使晶片的图案形成面有选择地转向上或转向下的翻转驱动器，提供适量显影液到容器中的显影液供应器，以及喷洒清洗液到晶片的图案形成面上的清洗液供应器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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