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一种电极组件和蚀刻设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810157608.3
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2018-02-24
  • 申请人:
    惠科股份有限公司
著录项信息
专利名称一种电极组件和蚀刻设备
申请号CN201810157608.3申请日期2018-02-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-07-24公开/公告号CN108321101A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人惠科股份有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人惠科股份有限公司当前权利人惠科股份有限公司
发明人何怀亮
代理机构深圳中一专利商标事务所代理人官建红
摘要
本申请属于蚀刻技术领域,提供一种电极组件和蚀刻设备,蚀刻设备包括腔体、第一电极板和第二电极板;第一电极板设置在腔体内靠近腔体的顶部,包括第一中心区域和环绕第一中心区域的第一边缘区域,第一中心区域贯通开设有第一进气孔,第一边缘区域贯通开设有第二进气孔,第二进气孔环绕设置在第一进气孔的外围,第一进气孔的横截面积小于第二进气孔的横截面积;第二电极板设置在腔体内靠近腔体的底部,包括放置区和围绕放置区的第二边缘区域;待加工基板设于放置区上,第一电极板的位置与待加工基板的位置相对应;腔体上还开设有与抽气装置连接的出气口,出气口设置在腔体内的下方且出气口的位置低于第二电极板的位置。

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