基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721777203.7
IPC分类号：G01B7/16;G01L1/22
申请日期：
2017-12-15
申请人：
陕西电器研究所

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专利名称	基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器
申请号	CN201721777203.7	申请日期	2017-12-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/16 用于计量固体的变形，例如电阻应变仪	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;1;6;;;G;0;1;L;1;/;2;2查看分类表>
申请人	陕西电器研究所	申请人地址	陕西省西安市灞桥区洪庆镇田王街特字1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陕西电器研究所	当前权利人	陕西电器研究所
发明人	王文卷;赵新;米秀秀;李贤君;樊俊有
代理机构	西安文盛专利代理有限公司	代理人	佘文英

摘要

本实用新型公开了一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测传感器，包括柔性扁平电缆、弹性结构体和金属敏感芯体。微型应力/应变传感器的弹性结构体内表面镀金属敏感芯体，形成金属薄膜敏感栅，并采用静电封装技术完成装配。将微型传感器埋入粘接界面，并使用粘接剂与上下表面粘接，传感器和信号解调模块用柔性扁平电缆连接，沿粘接界面粘接。本实用新型可实现对内部粘接结构进行实时在线的应力/应变、脱粘监测，并且传感器具有长期可靠性高、寿命长、测量精度高等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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