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无透镜叠层衍射图像重构方法、系统、设备和存储介质

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110553085.6
  • IPC分类号:G03H1/04;G03H1/08
  • 申请日期:
    2021-05-20
  • 申请人:
    清华大学深圳国际研究生院
著录项信息
专利名称无透镜叠层衍射图像重构方法、系统、设备和存储介质
申请号CN202110553085.6申请日期2021-05-20
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-20公开/公告号CN113281979A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03H1/04IPC分类号G;0;3;H;1;/;0;4;;;G;0;3;H;1;/;0;8查看分类表>
申请人清华大学深圳国际研究生院申请人地址
广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人清华大学深圳国际研究生院当前权利人清华大学深圳国际研究生院
发明人张永兵;何超;季向阳
代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司代理人江耀纯
摘要
本发明提供一种无透镜叠层衍射图像重构方法、系统、设备和存储介质。其方法包括:S1.获取空间光调制器的灰度‑相位幅值曲线,以及系统的物理参数;S2.获取目标图案,并将所述目标图案进行K‑1次叠层平移获得K张调制图案;S3.将步骤S2获得的K张调制图案输入至空间光调制器,并在传感器平面对物体经过散射的衍射像进行强度采集以获得衍射强度图像序列﹛I1,…Ii,…IK﹜;S4.将步骤S1获得的灰度‑相位幅值曲线、系统的物理参数以及步骤S3获得的衍射强度图像序列结合ePIE算法进行迭代重构,得到物体高分辨率的幅值和相位分布信息。该方法和系统无需机械扫描或更换介质就可以重构物体高分辨率的幅值和相位分布信息,且需要的图像数量少,鲁棒性高,灵活性强。

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