一种多晶硅还原尾气的处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201710240227.7
IPC分类号：C01B3/50;C01B33/107;C01B33/035;B01D50/00;B01D53/00;B01D53/02
申请日期：
2017-04-13
申请人：
新特能源股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种多晶硅还原尾气的处理装置
申请号	CN201710240227.7	申请日期	2017-04-13
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-02	公开/公告号	CN108726481A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B3/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B3/00 氢；含氢混合气；从含氢混合气中分离氢；氢的净化（用固体碳质物料生产水煤气或合成气入C10J）〔3〕 C01B3/50 氢或含氢气体从混合气体中的分离，如净化（C01B 3/14优先）〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;/;5;0;;;C;0;1;B;3;3;/;1;0;7;;;C;0;1;B;3;3;/;0;3;5;;;B;0;1;D;5;0;/;0;0;;;B;0;1;D;5;3;/;0;0;;;B;0;1;D;5;3;/;0;2查看分类表>
申请人	新特能源股份有限公司	申请人地址	新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区（工业园）众欣街2249号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	新疆新特晶体硅高科技有限公司	当前权利人	新疆新特晶体硅高科技有限公司
发明人	陈世涛;王文
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	罗建民;邓伯英

摘要

本发明提供一种多晶硅还原尾气的处理装置，包括：洗涤塔，用于对还原尾气进行淋洗处理，并从塔釜输出含硅粉氯硅烷液体，从塔顶输出不凝气；循环泵保护单元，用于去除含硅粉氯硅烷液体中的硅粉和杂质后输出氯硅烷液体；洗涤塔循环泵，用于将氯硅烷液体增压后送回洗涤塔内部参与淋洗工作；除尘单元，用于去除不凝气中的硅粉，得到除尘后的不凝气；多级冷却单元，用于使除尘后的不凝气依次经过多级冷却处理，将其中的氯硅烷全部冷凝下来并送往氯硅烷冷凝液收集罐，同时输出含有杂质氢气；多级活性炭吸附单元，用于使多级冷却单元输出的含有杂质氢气依次经过多级吸附处理，得到纯净的氢气并送往氢气缓冲罐。本发明能够有效去除还原尾气中的硅粉。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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