干涉型距离测量装置以及相应的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201380039172.3
IPC分类号：G01B9/02
申请日期：
2013-07-18
申请人：
赫克斯冈技术中心

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	干涉型距离测量装置以及相应的方法
申请号	CN201380039172.3	申请日期	2013-07-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-04-15	公开/公告号	CN104520667A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	赫克斯冈技术中心	申请人地址	瑞士赫尔布鲁格变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	赫克斯冈技术中心	当前权利人	赫克斯冈技术中心
发明人	托马斯·延森
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	王小东

摘要

本发明涉及一种用于测量表面的干涉型距离测量装置，所述干涉型距离测量装置具有：能够被调谐的至少一个激光源，所述激光源具有相干长度，用于产生被波长斜坡调制的测量辐射；光路，所述光路具有用于向表面发射测量辐射的光学传导系统以及用于捕捉由表面反向散射的测量辐射的光学捕捉系统，所述光学捕捉系统包括测量臂以及参考臂；以及辐射探测器和评估单元，用于确定从所述距离测量装置的参考点到所述表面的距离。由至少一个分光器限定用于并行发射测量辐射的n≥2条通道，为所述通道分别分配由相干长度限定的测量范围的一个不同子域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供