加工终点检测方法、研磨方法及研磨装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200780037289.2
IPC分类号：B24B37/013;B24B49/12;B24D7/12
申请日期：
2007-10-05
申请人：
株式会社荏原制作所;株式会社东芝

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著录项信息

专利名称	加工终点检测方法、研磨方法及研磨装置
申请号	CN200780037289.2	申请日期	2007-10-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-02	公开/公告号	CN101523565
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/013 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/005 研磨机床或装置的控制装置〔2012.01〕 B24B37/013 检测研磨完成的设备或装置〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;1;3;;;B;2;4;B;4;9;/;1;2;;;B;2;4;D;7;/;1;2查看分类表>
申请人	株式会社荏原制作所;株式会社东芝	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社荏原制作所,东芝存储器株式会社	当前权利人	株式会社荏原制作所,东芝存储器株式会社
发明人	清水展;大田真朗;丸山浩二;小林洋一;三谷隆一郎;中井俊辅;重田厚
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	胡建新

摘要

本发明涉及计算基板等加工对象物的被加工面的特性值，并检测加工终点(研磨停止、研磨条件的变更等)的定时的方法。该方法通过使用基准被加工物、或模拟计算，生成表示加工终点上的反射强度与波长的关系的分光波形；基于上述分光波形，选择反射强度成为极大值及极小值的波长；根据上述选择的波长上的反射强度，计算对于被加工面的特性值；将加工终点上的特性值的时间变化的特征点设定为加工终点；在加工对象物的加工中检测上述特征点从而检测被加工物的加工终点。

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