用于电化学机械抛光的导电抛光部件

发明专利无效专利

申请号：
CN02808676.7
IPC分类号：B24B37/04;B24D13/14;B23H5/08
申请日期：
2002-04-10
申请人：
应用材料有限公司

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著录项信息

专利名称	用于电化学机械抛光的导电抛光部件
申请号	CN02808676.7	申请日期	2002-04-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-22	公开/公告号	CN1531473
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/04 适用于加工平面的〔1，2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;4;;;B;2;4;D;1;3;/;1;4;;;B;2;3;H;5;/;0;8查看分类表>
申请人	应用材料有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料有限公司	当前权利人	应用材料有限公司
发明人	L－Y·陈;Y·王;王岩;A·迪布斯特;D·A·卡尔;R·瓦登斯威勒;M·比朗;P·D·巴特菲尔德;R·马夫列耶夫;S·D·蔡
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	赵蓉民

摘要

提供一种用于平面化衬底表面的制造部件和装置。在一个方案中，提供一种制造部件，用于对衬底进行抛光，其包括主体，该主体具有适于对衬底进行抛光的至少部分导电表面和安装表面。多个穿孔形成在抛光部件中，用于使材料流过。在另一方案中，用于抛光衬底的抛光部件包括具有抛光表面的主体和置于其中的导电元件。导电元件可具有延伸到由抛光表面限定的平面以外的接触表面。抛光表面可具有形成在其中的一个或多个槽。导电元件可设置在每个抛光槽中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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