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一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110378087.2
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2011-11-12
  • 申请人:
    哈尔滨工业大学
著录项信息
专利名称一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置
申请号CN201110378087.2申请日期2011-11-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-03-28公开/公告号CN102393613A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人哈尔滨工业大学申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨工业大学当前权利人哈尔滨工业大学
发明人谭久彬;杨远源;王雷
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置属于半导体制造装备;该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、回转换台齿轮以及旋转连接件构成的回转换台装置,在第一工件台腰部设置第一工件台旋转环套,在侧面底部设置第一工件台转接装置,腰部设置第一工件台齿轮;在第二工件台腰部设置第二工件台旋转环套,在侧面底部设置第二工件台转接装置,腰部设置第二工件台齿轮;回转换台装置与工件台转接装置对接后,带动工件台绕基台中心旋转实现位置交换;本发明解决了现有回转换台方式工件台相位反转,线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题,且转动惯量小,换台时间更短,提高了工件台的运行效率和光刻机产率。

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