基于激光自混合光栅干涉的三维位移测量系统及测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911064533.5
IPC分类号：G01B11/02
申请日期：
2019-11-04
申请人：
南京师范大学

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著录项信息

专利名称	基于激光自混合光栅干涉的三维位移测量系统及测量方法
申请号	CN201911064533.5	申请日期	2019-11-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-31	公开/公告号	CN110631484A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	南京师范大学	申请人地址	江苏省南京市栖霞区文苑路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京师范大学	当前权利人	南京师范大学
发明人	郭冬梅;施立恒;汪弋平;夏巍;郝辉;蔡文魁
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本发明公开了一种基于激光自混合光栅干涉的三维位移测量系统及测量方法，系统包括半导体激光传感头、平面反射镜、反射式二维平面光栅、数据采集卡和计算机，半导体激光传感头发出的激光入射到反射式二维光栅上，相应的衍射光沿原光路反馈回半导体激光传感头发生自混合干涉，自混合干涉信号被半导体激光器内置的光电探测器转化为电信号，输出至数据采集卡，经过计算机处理后得到待测目标的三维位移。本发明解决了传统光栅干涉仪在进行面外位移测量时量程受限的问题，同时相对传统光栅干涉仪更加紧凑，并保持了激光自混合干涉仪自准直的优点，可以实现结构简单、大量程、高分辨率三维实时位移测量系统和测量方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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