一种带电粒子探测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201610285009.0
IPC分类号：H01J37/244
申请日期：
2016-05-03
申请人：
睿励科学仪器（上海）有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种带电粒子探测装置
申请号	CN201610285009.0	申请日期	2016-05-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-11-10	公开/公告号	CN107342205A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/244 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/244 检测器；所采用的组件或电路〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;4;4查看分类表>
申请人	睿励科学仪器（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区华佗路68号6幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	睿励科学仪器（上海）有限公司	当前权利人	睿励科学仪器（上海）有限公司
发明人	罗浒;张旭
代理机构	北京启坤知识产权代理有限公司	代理人	赵晶

摘要

本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供