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坩埚底部厚度检测装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621141838.3
  • IPC分类号:G01B5/06
  • 申请日期:
    2016-10-20
  • 申请人:
    江西中昱新材料科技有限公司
著录项信息
专利名称坩埚底部厚度检测装置
申请号CN201621141838.3申请日期2016-10-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B5/06IPC分类号G;0;1;B;5;/;0;6查看分类表>
申请人江西中昱新材料科技有限公司申请人地址
江西省上饶市上饶县经济开发区远泉大道16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江西中昱新材料科技有限公司当前权利人江西中昱新材料科技有限公司
发明人李航
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人罗满
摘要
本实用新型公开了一种坩埚底部厚度检测装置,用于设置在坩埚四周的支撑件;水平设于支撑件的两个平行的第一滑轨;滑动设于两个第一滑轨上的第二滑轨,第二滑轨水平设置;滑动设于第二滑轨上的检测尺。此种坩埚底部厚度检测装置通过第一滑轨、第二滑轨的设置,能够使检测尺移动至坩埚内的任意位置,使坩埚底部任意位置的厚度均能够得到准确测量;同时,在检测过程中,检测尺沿着第二滑轨进行滑动,或者第二滑轨沿着第一滑轨滑动,可以避免由于测量者的测量手法而产生的误差,测量结果的准确度较高。

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