一种用于激光光源的液态金属靶产生装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201310182436.2
IPC分类号：H05G2/00;G03F7/20
申请日期：
2013-05-16
申请人：
中国科学院光电研究院

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专利名称	一种用于激光光源的液态金属靶产生装置
申请号	CN201310182436.2	申请日期	2013-05-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-04	公开/公告号	CN103281855A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05G2/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05G X射线技术（用于放射诊断的仪器入A61B 6/00；X射线治疗入A61N；用X射线测试的入G01N；X射线照相设备入G03B；滤波器、转换屏、显微镜入G21K；X射线管入H01J 35/00；具有X射线输入的电视系统入H04N 5/321） H05G2/00 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生（X射线激光器入H01S 4/00；一般等离子体技术入H05H）〔5〕	IPC分类号	H;0;5;G;2;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	中国科学院光电研究院	申请人地址	北京市海淀区邓庄南路9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电研究院	当前权利人	中国科学院光电研究院
发明人	王宇;张罗莎;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;谢婉露
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	宋焰琴

摘要

本发明公开了一种液态金属靶产生装置，其能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括：用于存储液态金属靶材料的储液箱，储液箱的底端与一个导管相连通；腔体，位于所述储液箱的下方，使得所述导管穿过腔体的上部进入腔体内部，以至于所述储液箱内的液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部；转轮，呈圆柱体形且能绕其中心轴转动，且该中心轴与该导管垂直，并且，该转轮与导管对准，以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面，并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本发明能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径，保证发光稳定性，有效控制发光过程中的系统污染。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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