一种MEMS电极式低电导率传感器及其测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611026949.4
IPC分类号：G01R27/22
申请日期：
2016-11-16
申请人：
河海大学

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专利名称	一种MEMS电极式低电导率传感器及其测量方法
申请号	CN201611026949.4	申请日期	2016-11-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-03-15	公开/公告号	CN106501615A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R27/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R27/00 测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置 G01R27/02 电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量（仅仅通过测量相位角的入G01R 25/00） G01R27/22 流体电阻的测量	IPC分类号	G;0;1;R;2;7;/;2;2查看分类表>
申请人	河海大学	申请人地址	江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河海大学	当前权利人	河海大学
发明人	刘海韵;胡居荣;平学伟;魏爽
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	朱小兵;刘莎

摘要

本发明公开了一种MEMS电极式低电导率传感器及其测量方法，属于微电子机械系统制造及水质检测领域。该传感器由绝缘衬底、三个平面矩形电极和两对平面叉指电极组成，所有电极依次水平排开，并呈左右对称分布，三个平面矩形电极大小相等，相互平行排布于两端和正中间，并作为电流电极，用于施加激励信号，两对平面叉指电极对大小相等，相互平行排布于两个平面矩形电极之间，并作为电压电极，用于检测响应信号。本发明提供的传感器结构简单，操作方便，基于MEMS加工技术，工艺简单，成本低廉，体积小巧，通用性强，可靠性高，适用于低浓度水体的电导率测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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