铝或铝合金溅射靶材的清洗方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200910224768.6
IPC分类号：C23C14/34;C23C14/14;C23G5/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B3/00
申请日期：
2009-11-17
申请人：
宁波江丰电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	铝或铝合金溅射靶材的清洗方法
申请号	CN200910224768.6	申请日期	2009-11-17
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-05-19	公开/公告号	CN101709452A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;4;;;C;2;3;G;5;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;3;/;1;2;;;B;0;8;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	宁波江丰电子材料有限公司	申请人地址	浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司	当前权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人	姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔;刘庆
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	李丽

摘要

本发明提供一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗。所述第一清洗剂和所述第二清洗剂是不同的，所述第一、第二清洗剂分别独立地为水、有机溶剂、以及多种溶剂的混合物中的任何一种。此外，所述清洗方法还可包括在所述第一清洗阶段前的预热工序、在所述第二清洗阶段后的蒸汽清洗阶段。根据本发明，可以充分全面地去除油污、灰尘及杂质等，降低清洗成本，得到更好的清洗效果。

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