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特殊气体泄漏保护装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020201076.8
  • IPC分类号:G05B19/048
  • 申请日期:
    2010-05-21
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司
著录项信息
专利名称特殊气体泄漏保护装置
申请号CN201020201076.8申请日期2010-05-21
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G05B19/048IPC分类号G;0;5;B;1;9;/;0;4;8查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司申请人地址
上海市张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,武汉新芯集成电路制造有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人付晓明;高辉;余鹤鹏;李凯;姚念
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本实用新型涉及一种特殊气体泄漏保护装置。公开了一种特殊气体泄漏保护装置,包括密封腔体和用于抽排所述密封腔体内气体的排放管路,所述特殊气体容置于钢瓶内,所述钢瓶的输出口与输出管的输入口连接,所述钢瓶和输出管的连接处设置于所述密封腔体内部,所述密封腔体设有排放口,所述排放管路的输入口与所述密封腔体的排放口密封固定连接。通过在钢瓶和输出管的连接处设置密封腔体及排放管路,可以将泄漏的气体通过排放管路排到指定的装置,从而可以防止这些有毒或易燃的特殊气体扩散到周围环境中,从而保护工作人员的生命安全,防止环境污染。另外,通过设置气体探测器,可以及时发现泄漏情况并通知管理人员,以减少损失和防止扩散。

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